Jun 19, 2025
Les plaques de chauffage électrique en aluminium sont couramment utilisées dansstations de chauffage à la plaquette(Également appelé plaques chaudes à la plaquette) pour les semi-conducteurs, le traitement de la photorésistaire et d'autres applications thermiques de précision. Voici comment ils fonctionnent:
La plaque de chauffage se compose d'unassiette en aluminiumIntégré avec des éléments de chauffage électriques (comme des fils résistifs ou des radiateurs à papier gravés). Lorsque l'électricité passe par ces éléments, ils génèrent de la chaleur due àJoule Heating (effet i²r), qui est ensuite conduit uniformément à travers la plaque en aluminium.
Assiette en aluminium:
Une conductivité thermique élevée garantit une répartition thermique.
Souvent anodisé pour éviter la corrosion et améliorer la durabilité.
La planéité est essentielle pour le contact uniforme de la plaquette (minimisant les gradients thermiques).
Élément chauffant:
Généralement fait deNichrome (Nicr) ou Kanthal Wire, ou radiateurs à papier gravés.
Intégré à l'intérieur ou collé à la plaque en aluminium.
Capteur de température (RTD \/ Thermocouple):
Surveille la température pourContrôle en boucle fermée.
Assure un chauffage précis et stable (critique pour le traitement des plaquettes).
Isolation et logement:
Empêche la perte de chaleur et protège les composants internes.
Peut inclure une isolation en céramique ou en silicone pour une stabilité à haute température.
Contrôleur (PID ou PLC):
Ajuste la puissance pour maintenir une température définie avec un dépassement minimal.
La tranche est placée directement sur la surface chauffée en aluminium.
La chaleur est transférée viaconduction, assurer une température uniforme à travers la tranche.
Certains systèmes utilisentchucks de l'aspirateurPour maintenir la plaquette à plat contre la plaque pour un meilleur contact thermique.
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